浙江中科应用技术研究院
关于省院扶持项目验收结果的公示
参照《浙江省科技计划项目验收管理办法》有关规定，现将已经组织验收的省院扶持项目的验收情况及结果（见下表），向社会公示。对公示项目验收结果有异议的，自公布之日起7日内，以真实身份，书面向我院提出，我院按规定对异议人身份予以�；ぁ�
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联系人：黄 盾 （浙江中科应用技术研究院科技创新部）
张丽娇 （浙江中科应用技术研究院科技创新部）
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项目名称 |
MCP 高二次电子发射材料沉积设备及工艺研发 |
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项目负责人 |
夏洋 |
验收日期 |
2025年05月15日 |
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项目承担单位 |
浙江中科应用技术研究院 |
验收结果 |
通过 |
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验收组成员 |
莫非、邱克强、黄增麒、戈秀龙、刘元、杨惠芳 |
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验收意见 |
一、提供的验收资料齐全、规范，符合验收要求。 二、项目完成了MCP 高二次电子发射材料沉积设备的研制以及高二次电子发射材料Ir 薄膜沉积工艺的研发。项目实施过程中，攻克了双层腔室设计、腔体内部均匀加热系统设计以及Ir前驱体进源难的难题。最终，项目达到了合同书的要求：1.原子层沉积设备真空度高于5×10-3Torr；2. MCP功能层Ir单质，孔内沉积的薄膜非均匀性≤5%；3.项目期内通过本项目已实现255万元销售额；4. 研制了带有微流床进源系统的原子层沉积设备1套；5.申请专利4项，其中发明专利2项。 三、项目产品经江苏集萃光电检测中心有限公司检测（报告编号R202412034），技术指标符合合同书的要求，经用户使用，反映良好。 四、项目预算总经费120万元，其中财政科技补助经费60万元，经浙江昌信会计师事务所（浙昌会所专审(2025)124号）专项审计（决算），实际经费支出119.32万元，其中财政科技补助经费支出60万元，经费使用合规。 验收组认为，该项目完成了项目合同书规定的主要内容和任务，同意通过验收。 |
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发布机构 |
浙江中科应用技术研究院 |
发布时间 |
2025.05.15 |
浙公网安备 33040202000778号
