中科院嘉兴中心再次获国家重大专项
来源：本站提供 发布时间：2011-03-28 点击次数：3503
3月25日，由中科院嘉兴微电子仪器与设备工程中心申报的国家重大专项（02专项）的子课题：《45nm以下颗粒检测与化学沾污检测集成系统的研发》（项目编号： 2011zx02104-002）正式获国家专项实施办公室批准，获财政部国拨经费补助853万元。该项目合同的正式签订，是继2010年5月中科院嘉兴无线传感网工程中心成功获得国家重大专项（03专项）子课题后，中科院嘉兴中心获得的又一个国家科技重大专项。
该项目的研究开发，是为面向极大规模集成电路生产线的栅刻蚀设备，突破高温E-Chuck等关键技术，研究相关高k介质和金属栅的刻蚀工艺等新工艺、新材料的研发，提供所需要的颗粒检测和化学污染检测设备。项目的成功开发，将加快提升国家取得该领域核心自主知识产权的能力，提高我国集成电路产业的核心科技水平和竞争能力。
通过该项目研究即将开发的检测设备，国内已有多家企业提前订单预约，项目具备非常好的产业化能力及市场竞争力。项目落户嘉兴，标志着中科院嘉兴中心自主创新能力质的提升，同时也将加快推动嘉兴孵化发展高端的极大规模集成电路设备制造产业的起步，为嘉兴的发展高科技产业和转型升级作出贡献。
（国家科技重大专项：2009年 5月 13日国务院总理温家宝主持召开国务院常务会议，研究部署加快国家科技重大专项实施工作，中央财政预算两年内安排 628亿元，用于国家科技重大专项。国家科技重大专项是根据《国家中长期科学和技术发展规划纲要（ 2006━ 2020年）》，围绕国家目标，筛选出的16个重大战略产品、关键共性技术或重大工程专项，具体包括：高档数控机床与基础制造装备，大型飞机，新一代宽带无线移动通信网，核心电子器件、高端通用芯片及基础软件产品，极大规模集成电路制造装备及成套工艺，大型油气田及煤层气开发，大型先进压水堆及高温气冷堆核电站，水体污染控制与治理，转基因生物新品种培育，重大新药创制，艾滋病和病毒性肝炎等重大传染病防治等 16个科技重大专项。）
