近日，由中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心和嘉兴科民电子设备技术有限公司合作研制生产的新型ALD设备成功销往美国阿拉巴马大学用于半导体材料研究，作为嘉兴研发生产的高端微电子装备跨出国门，产品销往美国，令国内同行刮目相看。该设备采用国际一线品牌真空泵，超静音，零振动，吸气均匀，工作可靠。进口专用阀，响应时间短，缩短进气和吹扫时间，减少前躯体用量，节约成本，缩短工艺时间，一体化铝合金结构，稳定性好，承载力高，结构标准，通用性强，方便后期升级�？泼竦缱由璞噶己玫墓ひ眨押玫娜诵曰缑�，媲美国际一线品牌的品质使其在国际市场上获得了优势。
